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第47章 芯源微688037的前世今生（第3页）

如今的芯源微，已不再是当年那个在困境中挣扎的初创企业，而是在半导体设备领域实现了多领域布局，形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品完整覆盖了前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域

。

在技术突破方面，芯源微取得了令人瞩目的成绩。在前道涂胶显影设备领域，经过多年的研发、验证和量产应用，芯源微完成了

28nm

及以上工艺节点的全覆盖，在客户端已有数十台光刻机的成功联机经验，是国内唯一可以提供量产型涂胶显影设备的厂商。在关键的工艺指标上，如高产能架构、内部微环境控制、边缘曝光等，芯源微的前道涂胶显影机已达到国际先进水平

。其光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术也达到了国际先进水平，这些技术优势使得芯源微在与国际竞争对手的较量中脱颖而出。

前道清洗设备同样成绩斐然。芯源微的前道物理清洗机在自动刷压控制技术、晶圆正反面颗粒清洗、化学药品精确供给及回收、内部微环境精确控制等技术方面已达到国际先进水平，整体技术达到国际先进水平，成功实现了进口替代，进一步夯实了国内市场龙头地位。其前道化学清洗机也已获多家客户验证订单，其中高温

spm

化学清洗机获得国内领先逻辑客户验证订单，高温

spm

清洗工艺为

28nm14nm

制程性能要求最高的工艺之一，也是技术壁垒最高的湿法工艺，这一突破标志着芯源微在化学清洗领域的技术实力得到了客户的高度认可

。

从订单与业绩来看，2024

年上半年，芯源微新签订单

12.19

亿元，同比增长约

30%，展现出强劲的市场需求和竞争力。其中，前道涂胶显影新签订单同比保持良好增长，后道先进封装及小尺寸新签订单同比较大幅度增长，应用于

chiplet

领域的新产品临时键合、解键合等新签订单同比增长超过十倍，公司战略性新产品前道单片式高温硫酸化学清洗设备也获得国内重要客户订单。截至

2024

年

6

月底，芯源微在手订单超过

26

亿元，创历史新高，充足的在手订单为公司未来的业绩增长提供了有力保障

。

在营收和净利润方面，2024

年前三季度，芯源微实现营收

11.05

亿元，同比略有下滑。收入下滑主要受去年以来小尺寸签单规模及占比持续下降、存量订单验收资源减少，以及前道物理清洗部分批量订单受客户厂务拖期等影响导致验收计划后移等因素影响

。利润方面，前三季度实现归母净利润

1.08

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